智能微机电系统实验室
Smart Microsystems Lab (SMiLe)
Welcome to the
Smart Microsystems Lab
(SMiLe :-)
团队合影
(2024.09.09)
团队教师
(按入职顺序)
蔡先法 博士
参与多项国家自然基金面上项目、国家重点研发计划项目。第一作者论文发表于IEEE Transactions on Industrial Electronics、IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, Nonlinear Dynamics等学术期刊,担任IEEE Industrial Electronics Magazine、Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part N: Journal of Nanomaterials, Nanoengineering and Nanosystems等期刊的审稿人。
Tahir Bashir 博士
Muroran Institute of Technology (日本)信息与电子工程专业博士,重庆大学硕士,获CIF22最佳论文奖、Muroran Institute of Technology优秀科研成果奖 (Rangaku Award)、中国国家留学基金委员会(CSC)全额奖学金、日本文部科学省(MEXT)全额奖学金。现为IEEE会员,以第一作者发表学术论文十余篇。
陶倩楠 博士
本科、硕士毕业于北京理工大学,博士毕业于北京航空航天大学,参与多项国家重大专项基础研究项目,作为第一作者分别在Chinese Journal of Aeronautics、Coatings、Micromachines、《航空动力学报》、《飞行力学》等发表一系列学术论文,发表5篇专利和软件著作权。研究兴趣:高温电子封装可靠性、界面力学、结构振动分析、多物理场耦合计算、材料高温性能实验。
谢佳琪 博士
本科、硕士毕业于加拿大多伦多大学,博士毕业于复旦大学。参与多项国家自然科学基金、上海市国际合作项目、上海市科委等资助的科研项目,第一作者论文发表于Advanced Functional Materials、Advanced Science、Materials Science in Semiconductor Processing、Journal of Materials Chemistry A等。研究方向:柔性可穿戴电子器件、有机太阳能电池等。
刘敏 博士
博士毕业于法国巴黎文理研究大学(PSL University)。致力于微纳电子材料与器件领域的研究工作,参与了多个国家自然基金面上项目和国家重点研发计划项目。作为第一作者/通讯作者在Advanced Functional Materials、Nano-Micro Letter、ACS Applied Materials & Interfaces、Advanced Materials Interfaces等学术期刊上发表了多篇论文。担任ACS Applied Materials & Interfaces等期刊的审稿专家。
徐鹏飞 博士
本科、硕士毕业于中国石油大学(华东),博士毕业于大连理工大学,作为项目骨干参与国家重点研发计划、装备预研重点基金、JKW重大专项等项目,第一作者论文发表于Nature Communications、Materials & Design、Advanced Electronic Materials等。研究方向:微纳米加工技术、MEMS传感器等。
研究生
(按年级和姓氏拼音排序)
曹智 博士研究生
研究方向:MEMS、传感器与致动器、相变功能材料。硕士毕业于传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ,上海应用技术大学。
冯正栋 博士研究生
研究方向:光电器件。硕士毕业于常州大学,毕业后工作于中科芯集成电路有限公司。
顾洋 硕士研究生
我学习认真,踏实肯干,勤学好问、乐观向上、积极开朗。目前致力于自主微型机器人的研制。平常喜欢篮球、游泳、羽毛球等运动。
王怡钦 硕士研究生
我来自云南曲靖,是一名共产党员,目前在南京邮电大学集成电路科学与工程学院读研究生,研究方向为柔性电子器件。
陈挚 硕士研究生
我性格开朗,积极乐观,喜欢接受新的挑战和学习新的东西,有较强的团队协作能力,实际动手能力和环境适应能力。我热爱篮球,会打羽毛球和乒乓球,同时也希望能通过坚持跑步和跳绳来“loss my fat”,通过旅游和阅读来“expand my horizon”。
宋子玲 硕士研究生
我是一个认真工作,勤奋努力,勇于创新的人。
宋宇航 硕士研究生
态度上乐观积极向上,工作上勤勉踏实,待人上友好互助,生活上对自我严格约束,掌握着较为丰富的专业知识,有一定的创造能力,同时又能够独立思考解决问题。
韩晓雯 硕士研究生
我来自河南安阳,是一名共产党员,乐观开朗,积极向上,对学习持之以恒,有较强的团队意识和学习能力,抗压能力强,热爱学习,热爱生活。
何宇航 硕士研究生
我来自四川成都,待人随和,乐观向上,对新鲜的实物保持着好奇,从不自怨自艾,有较强的适应能力,以及一定的编程能力。
吕飞 硕士研究生
我来自陕西西安,性格比较开朗,容易与人相处;平时爱好打羽毛球。在校期间,曾获得大学生数学建模竞赛校级一等奖,多次获得校级奖学金。
沈玉旺 硕士研究生
我来自浙江省杭州市,喜欢打羽毛球和篮球,希望以后有机会和大家一起打球娱乐。
田颖旭 硕士研究生
我是一个比较和善的男生,但是在学习的时候追求完美。我在闲暇时间喜欢弹弹吉他听听歌,或者去打羽毛球或者网球。
王鑫帅 硕士研究生
我叫王鑫帅,山东聊城人。我性格开朗,热爱生活,工作学习有耐心,用心向上,是个乐观主义者。除此之外,我还有很多爱好,比如徒步、写作、看电影。
徐甫 硕士研究生
我来自安徽蚌埠,是一名中共党员,在思想上端正态度,积极学习新思想,在学习上勤学好问,刻苦努力,善于观察,勇于创新,敢于尝试,在生活中,热爱打羽毛球,看科普书籍。
杨雄凯 硕士研究生
我来自江苏盐城,爱好是打篮球,看电影等,我积极乐观,待人真诚。我努力向上,精益求精,踏实做好每一件事。
科研环境
优越的办公环境
为科研工作者提供舒适宽敞的个人工作空间及高效的团队协作区,助力开启思维,激发灵感。
完备的科研条件
一流的硬件设施和浓郁的科研氛围,是孕育科研梦想的温床,见证年轻学者创新的力量。
设备清单
(橙色为超净间公共使用的设备 ,蓝色为团队与合作者独立拥有的设备)
▪ Suss MA6光刻机
▪ HMDS蒸镀烤箱
▪ 清洗设备
▪ RIE刻蚀系统
▪ 电子束蒸镀机
▪ 磁控溅射仪
▪ PECVD系统
▪ 聚焦显微镜
▪ 匀胶机
▪ 有机清洗台
▪ 无机清洗台
▪ 热台
▪ 快速退火系统
▪ 双工位手套箱
▪ 热蒸发镀膜仪
▪ 台阶仪
▪ 高温固化烘箱
▪ 扫描电子显微镜
▪ ICP干法刻蚀
▪ 等离子清洗机
▪ 原子层沉积ALD
▪ 功率器件测试平台
▪ 热压成型机(2t)
▪ CO2激光切割机
▪ 熔融沉积式3D打印机
▪ 电晕高压极化仪
▪ 磁控离子溅射仪
▪ 正高压电源(+40 kV)
▪ 负高压电源(−30 kV)
▪ 高压放大器
▪ 示波器
▪ 任意波形发生器
▪ 数字万用表
▪ 压电系数测量仪
▪ 紫外激光切割机
▪ 锁相放大器
▪ 臭氧清洗机
▪ 离心机
▪ 频谱分析仪
▪ ETP电晕机
▪ 4通道数据采集卡
▪ 电荷放大器
▪ 脉冲充磁机
▪ 恒温磁力搅拌机
▪ 万能拉力试验机
▪ Cricut精密薄膜切割机
▪ 精密天平
▪ 超声波清洗机
▪ 鼓风干燥箱
▪ 高压反应釜
▪ 正负压力密封实验箱
▪ BMF超精密3D打印机
▪ 高频振动测试系统
▪ NI-cRIO采集/控制系统
▪ Optotherm热成像显微镜
▪ 光学隔振平台
▪ 6英寸晶圆探针台
▪ 有限元仿真计算图形工作站
▪ FRANKA RESEARCH 3型七自由度力敏机器人系统
▪ Barrett Technology三指机械手(具备力传感功能)
▪ SM130-700光纤光栅解调器(微应变测试)
▪ RGM-4050微机电子式慢应变腐蚀试验机
▪ 静态电阻应变仪
▪ 压痕法残余应力测试装置
▪ Aubo-i5机器人
学术论文
Song Z, Cai X, Chen Z, Zhu Z, Cao Y, Li W. Ultrathin, Stretchable, and Twistable Ferroelectret Nanogenerator for Facial Muscle Detection. Nanoenergy Advances 2024, 4, 344–354. https://doi.org/ 10.3390/nanoenergyadv4040021
Wang Y, Cai X, Guo Y, Chen Z, Cao Y, Du W, et al. Self-powered highly stretchable ferroelectret nanogenerator towards intelligent sports. Nano Trends 2024;8:100053. https://doi.org/10.1016/j.nwnano.2024.100053.
Gu Y, Cai X, Thakuri K, Yang W, Guo Y, Li W. Microrobotic Flight Enabled by Ultralight Ion Thrusters with High Thrust-to-Weight Ratio and Low Fabrication Cost. 2024 IEEE International Conference on Robotics and Automation (ICRA), Yokohama, Japan: IEEE; 2024, p. 6036–42. https://doi.org/10.1109/ICRA57147.2024.10611166.
Cai X, Wang Y, Cao Y, Yang W, Xia T, Li W. Flexural-Mode Piezoelectric Resonators: Structure, Performance, and Emerging Applications in Physical Sensing Technology, Micropower Systems, and Biomedicine. Sensors 2024;24:3625. https://doi.org/10.3390/s24113625.
Song, Ziling, Xianfa Cai, Yiqin Wang, Wenyu Yang, and Wei Li*. “Leveraging Ferroelectret Nanogenerators for Acoustic Applications.” Micromachines 14, no. 12 (November 23, 2023): 2145. https://doi.org/10.3390/mi14122145. (Cover)
Wei Li, Yunqi Cao, Chuan Wang, and Nelson Sepúlveda*. “Ferroelectret Nanogenerators for the Development of Bioengineering Systems.” Cell Reports Physical Science, April 2023, 101388. https://doi.org/10.1016/j.xcrp.2023.101388.
Wei Li*, Yunqi Cao, and Nelson Sepúlveda. “Thin Film Piezoelectric Nanogenerator Based on (100)-Oriented Nanocrystalline AlN Grown by Pulsed Laser Deposition at Room Temperature.” Micromachines 14, no. 1 (January 2023): 99. https://doi.org/10.3390/mi14010099.
Alireza Fath, Tian Xia, and Wei Li*. “Recent Advances in the Application of Piezoelectric Materials in Microrobotic Systems.” Micromachines 13, no. 9 (August 29, 2022): 1422. https://doi.org/10.3390/mi13091422.
Nathan R. Velez, Frances I. Allen, Mary Ann Jones, Jenn Donohue, Wei Li, Kristofer Pister, Sanjay Govindjee, Gregory F. Meyers, and Andrew M. Minor*. “Nanomechanical Testing of Freestanding Polymer Films: In Situ Tensile Testing and Tg Measurement.” Journal of Materials Research 36, no. 12 (June 28, 2021): 2456–64. https://doi.org/10.1557/s43578-021-00163-z.
Connor Murphy, Yunqi Cao, Nelson Sepúlveda, and Wei Li*. “Quick Self-Assembly of Bio-Inspired Multi-Dimensional Well-Ordered Structures Induced by Ultrasonic Wave Energy.” PLOS ONE 16, no. 2 (February 24, 2021): e0246453. https://doi.org/10.1371/journal.pone.0246453.
Craig B. Schindler, Hani C. Gomez, Dillon Acker-James, Daniel Teal, Wei Li, and Kristofer S. J. Pister*. “15 Millinewton Force, 1 Millimeter Displacement, Low-Power MEMS Gripper.” In 2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 485–88. Vancouver, BC, Canada: IEEE, 2020. https://doi.org/10.1109/MEMS46641.2020.9056128.
Yunqi Cao, Wei Li, and Nelson Sepulveda*. “Performance of Self-Powered, Water-Resistant Bending Sensor Using Transverse Piezoelectric Effect of Polypropylene Ferroelectret Polymer.” IEEE Sensors Journal 19, no. 22 (November 15, 2019): 10327–35. https://doi.org/10.1109/JSEN.2019.2933174.
Yunqi Cao, José Figueroa, Juan J. Pastrana, Wei Li, Zhiqiang Chen, Zhong Lin Wang, and Nelson Sepúlveda*. “Flexible Ferroelectret Polymer for Self-Powering Devices and Energy Storage Systems.” ACS Applied Materials & Interfaces 11, no. 19 (May 15, 2019): 17400–409. https://doi.org/10.1021/acsami.9b02233.
Yunqi Cao, José Figueroa, Wei Li, Zhiqiang Chen, Zhong Lin Wang, and Nelson Sepúlveda*. “Understanding the Dynamic Response in Ferroelectret Nanogenerators to Enable Self-Powered Tactile Systems and Human-Controlled Micro-Robots.” Nano Energy 63 (September 2019): 103852. https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2019.06.048.
Yunqi Cao, Wei Li, José Figueroa, Tongyu Wang, David Torres, Chuan Wang, Zhong Lin Wang, and Nelson Sepúlveda*. “Impact-Activated Programming of Electro-Mechanical Resonators through Ferroelectret Nanogenerator (FENG) and Vanadium Dioxide.” Nano Energy 43 (January 2018): 278–84. https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2017.10.066.
Wei Li, David Torres, Ramón Díaz, Zhengjun Wang, Changsheng Wu, Chuan Wang, Zhong Lin Wang, and Nelson Sepúlveda*. “Nanogenerator-Based Dual-Functional and Self-Powered Thin Patch Loudspeaker or Microphone for Flexible Electronics.” Nature Communications 8, no. 1 (August 2017): 15310. https://doi.org/10.1038/ncomms15310.
Suoming Zhang, Le Cai, Wei Li, Jinshui Miao, Tongyu Wang, Junghoon Yeom, Nelson Sepúlveda, and Chuan Wang*. “Fully Printed Silver‐Nanoparticle‐Based Strain Gauges with Record High Sensitivity.” Advanced Electronic Materials 3, no. 7 (July 2017): 1700067. https://doi.org/10.1002/aelm.201700067.
Wei Li, David Torres, Tongyu Wang, Chuan Wang, and Nelson Sepúlveda*. “Flexible and Biocompatible Polypropylene Ferroelectret Nanogenerator (FENG): On the Path toward Wearable Devices Powered by Human Motion.” Nano Energy 30 (December 2016): 649–57. https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2016.10.007.
Xuedong Chen*, and Wei Li*. “A Monolithic Self-Sensing Precision Stage: Design, Modeling, Calibration, and Hysteresis Compensation.” IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 20, no. 2 (April 2015): 812–23. https://doi.org/10.1109/TMECH.2014.2306231.
Wei Li, Xuedong Chen*, and Zilong Li. “Inverse Compensation for Hysteresis in Piezoelectric Actuator Using an Asymmetric Rate-Dependent Model.” Review of Scientific Instruments 84, no. 11 (November 2013): 115003. https://doi.org/10.1063/1.4833399.
Wei Li, and Xuedong Chen*. “Compensation of Hysteresis in Piezoelectric Actuators without Dynamics Modeling.” Sensors and Actuators A: Physical 199 (September 2013): 89–97. https://doi.org/10.1016/j.sna.2013.04.036.
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