智能微机电系统实验室
Smart Microsystems Lab (SMiLe)
Welcome to the
Smart Microsystems Lab
(SMiLe :-)
团队合影
(2024.09.09)
团队教师
(按入职顺序)
蔡先法 博士
参与多项国家自然基金面上项目、国家重点研发计划项目。第一作者论文发表于IEEE Transactions on Industrial Electronics、IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, Nonlinear Dynamics等学术期刊,担任IEEE Industrial Electronics Magazine、Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part N: Journal of Nanomaterials, Nanoengineering and Nanosystems等期刊的审稿人。研究方向:微机电系统、微机器人、传感器。
Tahir Bashir 博士
Muroran Institute of Technology (日本)信息与电子工程专业博士,重庆大学硕士,获CIF22最佳论文奖、Muroran Institute of Technology优秀科研成果奖 (Rangaku Award)、中国国家留学基金委员会(CSC)全额奖学金、日本文部科学省(MEXT)全额奖学金。现为IEEE会员,以第一作者发表学术论文十余篇。研究方向:电磁计算、波导设计、反射阵列天线设计、微波、毫米波和太赫兹应用。
陶倩楠 博士
本科、硕士毕业于北京理工大学,博士毕业于北京航空航天大学,参与多项国家重大专项基础研究项目,作为第一作者分别在Chinese Journal of Aeronautics、Coatings、Micromachines、《航空动力学报》、《飞行力学》等发表一系列学术论文,发表5篇专利和软件著作权。研究兴趣:高温电子封装可靠性、界面力学、结构振动分析、多物理场耦合计算、材料高温性能实验。
谢佳琪 博士
本科、硕士毕业于加拿大多伦多大学,博士毕业于复旦大学。参与多项国家自然科学基金、上海市国际合作项目、上海市科委等资助的科研项目,第一作者论文发表于Advanced Functional Materials、Advanced Science、Materials Science in Semiconductor Processing、Journal of Materials Chemistry A等。研究方向:柔性可穿戴电子器件、有机太阳能电池等。
刘敏 博士
博士毕业于法国巴黎文理研究大学(PSL University)。致力于微纳电子材料与器件领域的研究工作,参与了多个国家自然基金面上项目和国家重点研发计划项目。作为第一作者/通讯作者在Advanced Functional Materials、Nano-Micro Letter、ACS Applied Materials & Interfaces、Advanced Materials Interfaces等学术期刊上发表了多篇论文。担任ACS Applied Materials & Interfaces等期刊的审稿专家。
徐鹏飞 博士
本科、硕士毕业于中国石油大学(华东),博士毕业于大连理工大学,作为项目骨干参与国家重点研发计划、装备预研重点基金、JKW重大专项等项目,第一作者论文发表于Nature Communications、Materials & Design、Advanced Electronic Materials等。研究方向:微纳米加工技术、MEMS传感器等。
研究生
(按年级和姓氏拼音排序)
曹智 博士研究生
研究兴趣:MEMS、机器人、传感器与致动器、相变功能材料。
冯正栋 博士研究生
研究兴趣:微电子器件、柔性功能材料、压电器件、传感器。
顾洋 硕士研究生
我学习认真,踏实肯干,勤学好问、乐观向上、积极开朗。目前致力于自主微型机器人的研制。平常喜欢篮球、游泳、羽毛球等运动。
王怡钦 硕士研究生
我来自云南曲靖,是一名共产党员,目前在南京邮电大学集成电路科学与工程学院读研究生,研究方向为柔性电子器件。
陈挚 硕士研究生
我性格开朗,积极乐观,喜欢接受新的挑战和学习新的东西,有较强的团队协作能力,实际动手能力和环境适应能力。我热爱篮球,会打羽毛球和乒乓球,同时也希望能通过坚持跑步和跳绳来“loss my fat”,通过旅游和阅读来“expand my horizon”。
宋子玲 硕士研究生
我是一个认真工作,勤奋努力,勇于创新的人。
宋宇航 硕士研究生
态度上乐观积极向上,工作上勤勉踏实,待人上友好互助,生活上对自我严格约束,掌握着较为丰富的专业知识,有一定的创造能力,同时又能够独立思考解决问题。
韩晓雯 硕士研究生
我来自河南安阳,是一名共产党员,乐观开朗,积极向上,对学习持之以恒,有较强的团队意识和学习能力,抗压能力强,热爱学习,热爱生活。
何宇航 硕士研究生
我来自四川成都,待人随和,乐观向上,对新鲜的实物保持着好奇,从不自怨自艾,有较强的适应能力,以及一定的编程能力。
吕飞 硕士研究生
我来自陕西西安,性格比较开朗,容易与人相处;平时爱好打羽毛球。在校期间,曾获得大学生数学建模竞赛校级一等奖,多次获得校级奖学金。
沈玉旺 硕士研究生
我来自浙江省杭州市,喜欢打羽毛球和篮球,希望以后有机会和大家一起打球娱乐。
田颖旭 硕士研究生
我是一个比较和善的男生,但是在学习的时候追求完美。我在闲暇时间喜欢弹弹吉他听听歌,或者去打羽毛球或者网球。
王鑫帅 硕士研究生
我叫王鑫帅,山东聊城人。我性格开朗,热爱生活,工作学习有耐心,用心向上,是个乐观主义者。除此之外,我还有很多爱好,比如徒步、写作、看电影。
徐甫 硕士研究生
我来自安徽蚌埠,是一名中共党员,在思想上端正态度,积极学习新思想,在学习上勤学好问,刻苦努力,善于观察,勇于创新,敢于尝试,在生活中,热爱打羽毛球,看科普书籍。
杨雄凯 硕士研究生
我来自江苏盐城,爱好是打篮球,看电影等,我积极乐观,待人真诚。我努力向上,精益求精,踏实做好每一件事。
科研环境
优越的办公环境
为科研工作者提供舒适宽敞的个人工作空间及高效的团队协作区,助力开启思维,激发灵感。
完备的科研条件
一流的硬件设施和浓郁的科研氛围,是孕育科研梦想的温床,见证年轻学者创新的力量。
设备清单
(橙色为超净间公共使用的设备 ,蓝色为团队与合作者独立拥有的设备)
▪ Suss MA6光刻机
▪ HMDS蒸镀烤箱
▪ 清洗设备
▪ RIE刻蚀系统
▪ 电子束蒸镀机
▪ 磁控溅射仪
▪ PECVD系统
▪ 聚焦显微镜
▪ 匀胶机
▪ 有机清洗台
▪ 无机清洗台
▪ 热台
▪ 快速退火系统
▪ 双工位手套箱
▪ 热蒸发镀膜仪
▪ 台阶仪
▪ 高温固化烘箱
▪ 扫描电子显微镜
▪ ICP干法刻蚀
▪ 等离子清洗机
▪ 原子层沉积ALD
▪ 功率器件测试平台
▪ 热压成型机(2t)
▪ CO2激光切割机
▪ 熔融沉积式3D打印机
▪ 电晕高压极化仪
▪ 磁控离子溅射仪
▪ 正高压电源(+40 kV)
▪ 负高压电源(−30 kV)
▪ 高压放大器
▪ 示波器
▪ 任意波形发生器
▪ 数字万用表
▪ 压电系数测量仪
▪ 紫外激光切割机
▪ 锁相放大器
▪ 臭氧清洗机
▪ 离心机
▪ 频谱分析仪
▪ ETP电晕机
▪ 4通道数据采集卡
▪ 电荷放大器
▪ 脉冲充磁机
▪ 恒温磁力搅拌机
▪ 万能拉力试验机
▪ Cricut精密薄膜切割机
▪ 精密天平
▪ 超声波清洗机
▪ 鼓风干燥箱
▪ 高压反应釜
▪ 正负压力密封实验箱
▪ BMF超精密3D打印机
▪ 高频振动测试系统
▪ NI-cRIO采集/控制系统
▪ Optotherm热成像显微镜
▪ 光学隔振平台
▪ 6英寸晶圆探针台
▪ 有限元仿真计算图形工作站
▪ FRANKA RESEARCH 3型七自由度力敏机器人系统
▪ Barrett Technology三指机械手(具备力传感功能)
▪ SM130-700光纤光栅解调器(微应变测试)
▪ RGM-4050微机电子式慢应变腐蚀试验机
▪ 静态电阻应变仪
▪ 压痕法残余应力测试装置
▪ Aubo-i5机器人
学术论文
Song, Z., Cai, X., Chen, Z., Zhu, Z., Cao, Y., and Li, W. (2024). Ultrathin, Stretchable, and Twistable Ferroelectret Nanogenerator for Facial Muscle Detection. Nanoenergy Advances 4, 344–354. (pdf)
Wang, Y., Cai, X., Guo, Y., Chen, Z., Cao, Y., Du, W., Xia, T., Sepulveda, N., and Li, W. (2024). Self-powered highly stretchable ferroelectret nanogenerator towards intelligent sports. Nano Trends 8, 100053. (pdf)
Gu, Y., Cai, X., Thakuri, K., Yang, W., Guo, Y., and Li, W. (2024). Microrobotic Flight Enabled by Ultralight Ion Thrusters with High Thrust-to-Weight Ratio and Low Fabrication Cost. In 2024 IEEE International Conference on Robotics and Automation (ICRA) (IEEE), pp. 6036–6042. (pdf)
Cai, X., Wang, Y., Cao, Y., Yang, W., Xia, T., and Li, W. (2024). Flexural-Mode Piezoelectric Resonators: Structure, Performance, and Emerging Applications in Physical Sensing Technology, Micropower Systems, and Biomedicine. Sensors 24, 3625. (pdf)
Song, Z., Cai, X., Wang, Y., Yang, W., and Li, W. (2023). Leveraging Ferroelectret Nanogenerators for Acoustic Applications. Micromachines 14, 2145. (Cover) (pdf)
Li, W., Cao, Y., Wang, C., and Sepúlveda, N. (2023). Ferroelectret nanogenerators for the development of bioengineering systems. Cell Reports Physical Science, 101388. (pdf)
Li, W., Cao, Y., and Sepúlveda, N. (2023). Thin Film Piezoelectric Nanogenerator Based on (100)-Oriented Nanocrystalline AlN Grown by Pulsed Laser Deposition at Room Temperature. Micromachines 14, 99. (pdf)
Fath, A., Xia, T., and Li, W. (2022). Recent Advances in the Application of Piezoelectric Materials in Microrobotic Systems. Micromachines 13, 1422. (pdf)
Velez, N.R., Allen, F.I., Jones, M.A., Donohue, J., Li, W., Pister, K., Govindjee, S., Meyers, G.F., and Minor, A.M. (2021). Nanomechanical testing of freestanding polymer films: in situ tensile testing and Tg measurement. Journal of Materials Research 36, 2456–2464. (pdf)
Murphy, C., Cao, Y., Sepúlveda, N., and Li, W. (2021). Quick self-assembly of bio-inspired multi-dimensional well-ordered structures induced by ultrasonic wave energy. PLoS ONE 16, e0246453. (pdf)
Schindler, C.B., Gomez, H.C., Acker-James, D., Teal, D., Li, W., and Pister, K.S.J. (2020). 15 Millinewton Force, 1 Millimeter Displacement, Low-Power MEMS Gripper. In 2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (IEEE), pp. 485–488. (pdf)
Cao, Y., Li, W., and Sepulveda, N. (2019). Performance of Self-Powered, Water-Resistant Bending Sensor Using Transverse Piezoelectric Effect of Polypropylene Ferroelectret Polymer. IEEE Sensors Journal 19, 10327–10335. (pdf)
Cao, Y., Figueroa, J., Pastrana, J.J., Li, W., Chen, Z., Wang, Z.L., and Sepulveda, N. (2019). Flexible Ferroelectret Polymer for Self-Powering Devices and Energy Storage Systems. ACS Applied Materials & Interfaces 11, 17400–17409. (pdf)
Cao, Y., Figueroa, J., Li, W., Chen, Z., Wang, Z.L., and Sepulveda, N. (2019). Understanding the dynamic response in ferroelectret nanogenerators to enable self-powered tactile systems and human-controlled micro-robots. Nano Energy 63, 103852. (pdf)
Cao, Y., Li, W., Figueroa, J., Wang, T., Torres, D., Wang, C., Wang, Z.L., and Sepulveda, N. (2018). Impact-activated programming of electro-mechanical resonators through ferroelectret nanogenerator (FENG) and vanadium dioxide. Nano Energy 43, 278–284. (pdf)
Li, W., Torres, D., Diaz, R., Wang, Z., Wu, C., Wang, C., Wang, Z.L., and Sepulveda, N. (2017). Nanogenerator-based dual-functional and self-powered thin patch loudspeaker or microphone for flexible electronics. Nature Communications 8, 15310. (pdf)
Zhang, S., Cai, L., Li, W., Miao, J., Wang, T., Yeom, J., Sepúlveda, N., and Wang, C. (2017). Fully Printed Silver‐Nanoparticle‐Based Strain Gauges with Record High Sensitivity. Advanced Electronic Materials 3, 1700067. (pdf)
Li, W., Torres, D., Wang, T., Wang, C., and Sepulveda, N. (2016). Flexible and biocompatible polypropylene ferroelectret nanogenerator (FENG): On the path toward wearable devices powered by human motion. Nano Energy 30, 649–657. (pdf)
Chen, X., and Li, W. (2015). A Monolithic Self-Sensing Precision Stage: Design, Modeling, Calibration, and Hysteresis Compensation. IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 20, 812–823. (pdf)
Li, W., Chen, X., and Li, Z. (2013). Inverse compensation for hysteresis in piezoelectric actuator using an asymmetric rate-dependent model. Review of Scientific Instruments 84, 115003. (pdf)
Li, W., and Chen, X. (2013). Compensation of hysteresis in piezoelectric actuators without dynamics modeling. Sensors and Actuators A: Physical 199, 89–97. (pdf)
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